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Varian瓦里安分子泵控制器維修檢查冷卻系統(tǒng)：確認瓦里安VARIAN真空泵的冷卻系統(tǒng)是否正常工作。檢查冷卻水流量是否足夠，冷卻水閥門是否打開，冷卻水管路是否堵塞或泄漏。如果有必要，清潔或更換冷卻水過濾器。
更新時間：2025-03-20
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